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本项目为光电外延片洁净车间专属清扫改造项目。外延精密制程极易产生超细硅粉、微碎屑，对车间洁净度要求极高。车间原有人工清扫、小型手持吸尘器清洁方式，费时费力、人工成本高，且产线24小时连续生产、无法停机清洁，人工清扫易产生二次扬尘，造成外延片瑕疵、良率降低，亟需高效无尘的专业清扫设备。