项目概况
本项目为光电外延片洁净车间专属清扫改造项目。外延精密制程极易产生超细硅粉、微碎屑，对车间洁净度要求极高。车间原有人工清扫、小型手持吸尘器清洁方式，费时费力、人工成本高，且产线24小时连续生产、无法停机清洁，人工清扫易产生二次扬尘，造成外延片瑕疵、良率降低，亟需高效无尘的专业清扫设备。
现场治理痛点
1、超细微尘易附着产品表面，造成精密器件不良报废；
2、传统清洁耗人低效，人工运维成本高；
3、产线无法停机，人工清扫易引发二次扬尘，破坏车间洁净度；
4、普通吸尘设备不防静电，存在精密产品损坏风险。
简易治理方案
采用防静电中央真空清扫系统，车间全域预埋管路，搭配无尘防静电清扫配件，负压封闭式吸尘。可在产线不停机状态下，快速清理机台、缝隙、吊顶死角积尘，全程无扬尘、无静电，适配精密洁净车间运维需求。
核心配置设备
中央真空清扫主机、旋风除尘器、HEPA高效过滤单元、SUS304不锈钢的管道
落地效果
设备落地后，彻底替代人工清扫，大幅节省人工成本、清扫效率大幅提升。实现产线不停机常态化无尘清洁，零二次扬尘、零静电干扰，稳定车间洁净等级，有效降低外延片粉尘不良率，真正实现洁净生产、降本增效。
